| Библиографическое описание документа: | Гранько, Сергей Владимирович Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок : Автореф. дисс....канд. техн. наук: 01.04.07; 05.27.01 / С. В. Гранько ; БГУ. – Мн., 2004. – 23 с., 1экз.
|
|
| Общее количество экземпляров: | 1 |
| Количество экземпляров | Места хранения | Адреса мест хранения | |
| 1 | Читальный зал | ул. Ожешко, 22 - 116 | |
