


Библиографическое описание документа: | Королик, О. В. Влияние низкоэнергетичной ионн-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / О. В. Королик ; БГУ. – Минск, 2010. – 22 с., 1экз.
|
|
Общее количество экземпляров: | 1 |
Количество экземпляров | Места хранения | Адреса мест хранения | |
1 | Читальный зал | ул. Ожешко, 22 - 116 |