| Библиографическое описание документа: | Влияние быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисления / В. М. Анищик [и др.] // Журнал Белорусского государственного университета. Физика. – 2018. – № 2. – С. 81-85.
|
|
| Общее количество экземпляров: | 1 |
| Количество экземпляров | Места хранения | Адреса мест хранения | |
| 1 | УМК(В) | ||
