Библиографическое описание документа: | Лявшук, Ирена Александровна Реализация измерительного контроля подложек микроструктурированных элементов с помощью одноканальных лазерных интерферометров / И. А. Лявшук, А. М. Ляликов // IV Международная конференция по фотонике и информационной оптике : сб. науч. тр., Москва, 28–30 января 2015 г. – М. : 2015. – С. 328-329.
| |||||||||||||||
Авторы: | Лявшук И. А. Ляликов А. М. | |||||||||||||||
Ключевые слова: | Сотрудник ГрГУ | |||||||||||||||
URI документа: (Используйте для цитирования и ссылки на документ) |
https://elib.grsu.by/doc/11551 | |||||||||||||||
Расположен в разделе: | Физические науки | |||||||||||||||
|