ГлавнаяГлавная » Труды ученых ГрГУ им. Янки Купалы » Физические науки » Реализация измерительного контроля подложек микроструктурированных элементов с помощью одноканальных лазерных интерферометров

Реализация измерительного контроля подложек микроструктурированных элементов с помощью одноканальных лазерных интерферометров

Библиографическое описание документа: Лявшук, Ирена Александровна
Реализация измерительного контроля подложек микроструктурированных элементов с помощью одноканальных лазерных интерферометров
/ И. А. Лявшук, А. М. Ляликов // IV Международная конференция по фотонике и информационной оптике : сб. науч. тр., Москва, 28–30 января 2015 г. – М. : 2015. – С. 328-329. 
Статья
Авторы:Лявшук И. А. Ляликов А. М.
Ключевые слова: Сотрудник ГрГУ
URI документа:

(Используйте для цитирования и ссылки на документ)

https://elib.grsu.by/doc/11551
Расположен в разделе: Физические науки
Полный текст документа:
Файл Размер(мб)Количество страницФормат
496899_218334pdf.pdf 1.265PDF file Открыть/просмотреть

Статистика по документу

Общее количество загрузок: 425

Вестник ГрГУ UNIVERSUM Научная библиотека