Библиографическое описание документа: | Лазерно-плазменный источник ионов с регулируемой энергией для нанесения наноплёнок / В. К. Гончаров [и др.] // Электроника ИНФО. – 2016. – № 11. – С. 54-56.
| |||||||||||||||
Авторы: | Гончаров В. К. Василевич А. Е. Ступакевич В. Ю. Пузырев М. В. | |||||||||||||||
Ключевые слова: | Сотрудник ГрГУ, Ионы, Наноотрасль, Энергия | |||||||||||||||
URI документа: (Используйте для цитирования и ссылки на документ) |
https://elib.grsu.by/doc/25084 | |||||||||||||||
Расположен в разделе: | Физические науки | |||||||||||||||
|