| Библиографическое описание документа: |
Лазерно-плазменный источник нанесения нанопленок с контролируемым составом
/ В. Ю. Ступакевич [и др.] // Квантовая электроника : материалы XI Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 13-17 нояб. 2017 г. – Минск : РИВШ, 2017. – С. 226-227. |
| Авторы: | Ступакевич В. Ю. Гончаров В. К. Пузырев М. В. Гусаков Г. А. |
| Ключевые слова: |
Сотрудник ГрГУ, Лазерно-плазменные источники, Нанопленки, Микроэлектроника |
URI документа:
(Используйте для цитирования и ссылки на документ) |
https://elib.grsu.by/doc/59062 |
| Расположен в разделе: |
Технические науки |
|
|
Главная » 
