Библиографическое описание документа: | Овчинников, Евгений Витальевич Энергетические характеристики эпитаксиальных процессов / Е. В. Овчинников, В. А. Лиопо // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: Материалы Междунар. науч.-технической конф. "INTERMATIC-2013", Москва, 2-6 декабря 2013 г.,. – М. : Энергоатомиздат, 2013. – С. 48-50.
| |||||||||||||||
Авторы: | Овчинников Е. В. Лиопо В. А. | |||||||||||||||
Ключевые слова: | Сотрудник ГрГУ | |||||||||||||||
URI документа: (Используйте для цитирования и ссылки на документ) |
https://elib.grsu.by/doc/8090 | |||||||||||||||
Расположен в разделе: | Технические науки | |||||||||||||||
|